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Loadlock Chamber

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작성자 관리자 작성일18-12-27 14:30 조회1,092회 댓글0건

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◆ 특징 및 장점 

   - N2 저진공, 고진공 사용 가능  

   

적용 범위 

   - N2 Process, Low/High Vac Process 

 

 주요 기능 

   - Bottom Lid Up/Down을 통해 Glass 및 Mask 이송

   - Pumping, Vent를 통한 Chamber 진공도 제어

   - Gauge를 통한 진공 압력 검출

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