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Loadlock Chamber

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작성자 관리자 작성일18-12-27 14:30 조회245회 댓글0건

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v 개요  

    - LoadLock Chamber

    - ​N2, Vac 분위기 상압상태에서

      ​Glass 및 Mask 이송


v 특징 및 장점 

     - N2 저진공, 고진공 내에서 사용 가능  

   

v 적용 범위 

    - N2 Process, Low/High Vac Process 

 

v 주요 기능 

    - Bottom Lid Up/Down을 통해 Glass 및

      Mask 이송

    - 진공 Pumping, Vent를 통한 Chamber

       진공도 제어

    - 진공 Gauge를 통한 압력 검출

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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