Loadlock Chamber
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작성자 관리자 작성일18-12-27 14:30 조회245회 댓글0건관련링크
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| v 개요 - LoadLock Chamber - N2, Vac 분위기 상압상태에서 Glass 및 Mask 이송 v 특징 및 장점 - N2 저진공, 고진공 내에서 사용 가능
v 적용 범위 - N2 Process, Low/High Vac Process
v 주요 기능 - Bottom Lid Up/Down을 통해 Glass 및 Mask 이송 - 진공 Pumping, Vent를 통한 Chamber 진공도 제어 - 진공 Gauge를 통한 압력 검출
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