Loadlock Chamber
페이지 정보
작성자 관리자 작성일18-12-27 14:30 조회676회 댓글0건관련링크
본문
| v 개요 - LoadLock Chamber - ?N2, Vac 분위기 상압상태에서 ?Glass 및 Mask 이송 v 특징 및 장점 - N2 저진공, 고진공 내에서 사용 가능
v 적용 범위 - N2 Process, Low/High Vac Process
v 주요 기능 - Bottom Lid Up/Down을 통해 Glass 및 Mask 이송 - 진공 Pumping, Vent를 통한 Chamber 진공도 제어 - 진공 Gauge를 통한 압력 검출
| |
