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Buffer Chamber

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작성자 관리자 작성일19-05-17 15:11 조회188회 댓글0건

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v 개요  

    - Buffer Chamber 


v 특징 및 장점 

     - Roller에 의한 Chuck & Glass, Mask

        이송

     - Aligner 이후 Buffer

 

v 적용 범위 

    - N2 Process, Low/High Vac Process 

 

v 주요기능 

    - 20단 Cassette에 Glass 수납, 취출 가능 

    - 진공 Pumping, Vent를 통한 Chamber

       진공도 제어

    - 진공 Gauge를 통한 압력 검출 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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