Buffer Chamber 페이지 정보 작성자 관리자 작성일19-05-17 15:11 조회1,036회 댓글0건 관련링크 이전글 다음글 목록 본문 ◆ 특징 및 장점 - Aligner 후 buffer chamber ◆ 적용 범위 - N2 Process, Low/High Vac Process ◆ 주요기능 - 20단 Cassette에 Glass 수납, 취출 가능 - Pumping, Vent를 통한 Chamber 진공도 제어 - Gauge를 통한 진공 압력 검출 이전글 다음글 목록
