Buffer Chamber
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작성자 관리자 작성일19-05-17 15:11 조회881회 댓글0건관련링크
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| v 개요 - Buffer Chamber v 특징 및 장점 - Roller에 의한 Chuck & Glass, Mask 이송 - Aligner 이후 Buffer
v 적용 범위 - N2 Process, Low/High Vac Process
v 주요기능 - 20단 Cassette에 Glass 수납, 취출 가능 - 진공 Pumping, Vent를 통한 Chamber 진공도 제어 - 진공 Gauge를 통한 압력 검출
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