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Buffer Chamber

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작성자 관리자 작성일19-05-17 15:11 조회1,036회 댓글0건

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◆ 특징 및 장점

    - Aligner 후 buffer chamber 

 

◆ 적용 범위 

    - N2 Process, Low/High Vac Process 

 

 주요기능 

    - 20CassetteGlass 수납, 취출 가능 

    - Pumping, Vent를 통한 Chamber 진공도 제어

    - Gauge를 통한 진공 압력 검출 

 

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