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Flip Chamber

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작성자 관리자 작성일19-05-17 15:22 조회188회 댓글0건

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v 개요  

     - Flip Chamber

     - 진공물류 Line에 기재를

        반전하는 장비


v 특징 및 장점 

      - 진공 Chamber 내부에서

        기재를 Rotation

 

v 적용 범위 

      - N2 Process, Low/High Vac

        ​Process 

 

v 주요 기능 

     - 진공 Pumping, Vent를 통한

       Chamber 내 진공도 제어

     - 진공 Gauge를 통한 압력 검출

 

 

 


 

 

 

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