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Flip Chamber

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작성자 관리자 작성일19-05-17 15:22 조회1,029회 댓글0건

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◆ 특징 및 장점 

  진공 Chamber 내부에서 기재를 Rotation

  

 적용 범위 

  - N2 Process, Low/High Vac Process 

 

 주요 기능 

  Pumping, Vent를 통한 Chamber 내 진공도 제어

  - Gauge를 통한 진공 압력 검출 

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