Mask Stock Chamber
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작성자 관리자 작성일19-05-17 15:29 조회307회 댓글0건관련링크
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| v 개요 - Mask Stock Chamber - TM으로부터 Mask를 Stock하기 위한 Chamber v 특징 및 장점 - 진공 Chamber 구조로 Cassette Type 적재
v 적용 범위 - N2 Process, Low/High Vac Process
v 주요 기능 - 진공 Pumping, Vent를 통한 Chamber 내 진공도 제어 - Cassette Up/Down을 통한 Mask 적재 - 진공 Gauge를 통한 압력 검출
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