Mask Stock Chamber 페이지 정보 작성자 관리자 작성일19-05-17 15:29 조회1,011회 댓글0건 관련링크 이전글 다음글 목록 본문 ◆ 특징 및 장점 - 진공 Chamber 구조로 Cassette Type 적재 ◆ 적용 범위 - N2 Process, Low/High Vac Process ◆ 주요 기능 - Pumping, Vent를 통한 Chamber 내 진공도 제어 - Cassette Up/Down을 통한 Mask 적재 - Gauge를 통한 진공 압력 검출 이전글 다음글 목록
