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Mask Stock Chamber

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작성자 관리자 작성일19-05-17 15:29 조회209회 댓글0건

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v 개요  

    Mask Stock Chamber 

    - TM으로부터 Mask를 Stock하기

       위한 Chamber


v 특징 및 장점 

    - 진공 Chamber 구조로 Cassette

        Type 적재

 

v 적용 범위 

    - N2 Process, Low/High Vac

        ​Process 

 

v 주요 기능 

    - 진공 Pumping, Vent를 통한

       Chamber 내 진공도 제어

    - Cassette Up/Down을 통한

        Mask 적재

    - 진공 Gauge를 통한 압력 검출

 

 

 

 

 

 

 

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