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Mask Stock Chamber

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작성자 관리자 작성일19-05-17 15:29 조회1,011회 댓글0건

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◆ 특징 및 장점 

   - 진공 Chamber 구조로 Cassette Type 적재

 

 적용 범위 

   - N2 Process, Low/High Vac Process 

 

 주요 기능 

   Pumping, Vent를 통한 Chamber 내 진공도 제어

   - Cassette Up/Down을 통한 Mask 적재

   - Gauge를 통한 진공 압력 검출 

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