Transfer Chamber 페이지 정보 작성자 관리자 작성일19-05-21 11:29 조회1,161회 댓글0건 관련링크 이전글 다음글 목록 본문 ◆ 특징 및 장점 - N2 저진공, 고진공 내에서 사용 가능 - 진공 Chamber 내에서 robot에 의한 개별 Chamber로 Glass를 이송 ◆ 적용 범위 - N2 Process, Low/High Vac Process ◆ 주요 기능 - 진공 및 N2 상태에서 Chamber 내부에 존재하는 Robot을 이용하여 공정, 물류 Chamber로 기판을 이송 이전글 다음글 목록
