Transfer Chamber
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작성자 관리자 작성일19-05-21 11:29 조회681회 댓글0건관련링크
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? | v 개요 - Transfer Chamber - Glass를 FA(ATM)에서진공측으로 도입 해 전처리 Line으로 이송 역활 v 특징 및 장점 - N2 저진공, 고진공 내에서 사용 가능 - 진공 Chamber 내에서 robot에 의한 개별 Chamber로 Glass를 이송
v 적용 범위 - N2 Process, Low/High Vac Process
v 주요 기능 - 진공 및 N2 상태에서 Chamber 내부에 존재하는 Robot을 이용하여 공정, 물류 Chamber로 기판을 이송 | |
