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Transfer Chamber

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작성자 관리자 작성일19-05-21 11:29 조회196회 댓글0건

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v 개요  

    Transfer Chamber

    - Glass를 FA(ATM)에서진공측으로 도입

       해 전처리 Line으로 이송 역활


v 특징 및 장점 

    - N2 저진공, 고진공 내에서 사용 가능  

    - 진공 Chamber 내에서 robot에 의한 

       개별 Chamber로 Glass를 이송 

 

v 적용 범위 

    - N2 Process, Low/High Vac Process 

 

v 주요 기능 

    - 진공 및 N2 상태에서 Chamber

      내부에 존재하는 Robot을 이용하여

      공정, 물류 Chamber로 기판을 

      이송 

 

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