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Flat Pannel Cleaner

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작성자 관리자 작성일19-05-21 15:47 조회1,124회 댓글0건

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◆  특징 및 장점 

   - 세정공정용 모듈(D/B, R/B, MS, SJ,HPMJ )을 통한 산화막유기물,

     입자성 Particle등 제거

   - CF / TFT Flexible OLED用 Glass 세정 가능

   - 공정 別 사용 Chemical Liquid의종류에 따라서 설비 재질기판사이즈에 따른 

     설비 크기 변경 대응가능        

 

◆  적용 범위 

   - Glass Panel Size 기준 2G ~ 8.5G대응 설비 제작 가능(10G 이상 개발 中)

  

 주요 기능 

   - 초기 입고 Glass 세척

   - Main 공정 전후 Glass 잔여 이물 제거

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