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Flat Pannel Cleaner

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작성자 관리자 작성일19-05-21 15:47 조회162회 댓글0건

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v 개요  

  - Flat Panel Cleaner

 

v 특징 및 장점 

  - 세정공정용 모듈(D/B, R/B, MS,SJ,

    HPMJ 등)을 통한 산화막,유기물,

    입자성 Particle등 제거

  - 기판표면에 존재하는 원하지 않는

    오염 된 이물질을 제거

  - CF / TFT 및 Flexible OLED用 Glass

    세정 가능

  - 공정 別 사용 Chemical Liquid의

    종류에 따라서 설비 재질, 기판

    사이즈에 따른 설비 크기 변경 대응

    가능        

 

v 적용 범위 

  - Glass Panel Size 기준 2G ~ 8.5G

     대응 설비 제작 가능

     (10G 이상 개발 中)

  

v 주요 기능 

  - 초기 입고 Glass 세척

  - 각 Main 공정 전∙후 Glass 잔여

     이물 제거

 

 

  

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