Flat Pannel Cleaner
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작성자 관리자 작성일19-05-21 15:47 조회1,423회 댓글0건관련링크
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◆ 특징 및 장점
- 세정공정용 모듈(D/B, R/B, MS, SJ,HPMJ 등)을 통한 산화막, 유기물,
입자성 Particle등 제거
- CF / TFT 및 Flexible OLED用 Glass 세정 가능
- 공정 別 사용 Chemical Liquid의종류에 따라서 설비 재질, 기판사이즈에 따른
설비 크기 변경 대응가능
◆ 적용 범위
- Glass Panel Size 기준 2G ~ 8.5G대응 설비 제작 가능(10G 이상 개발 中)
◆ 주요 기능
- 초기 입고 Glass 세척
- 각 Main 공정 전후 Glass 잔여 이물 제거