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Chn
ITEM
SPECIFICATION
Glass Size
Gen2.0 ~ Gen8.5
Pass Line
TBD
Base Pressure
7.42E-7 Torr
Leak Rate
≤ 0.1mTorr/min(10min)
Pump
DRY Pump + Cryo Pump
Up/Down
SUS Ball Screw + Lm Guide
Chamber Material
SUS304(EP)
Tact Time
90sec
SUS Ball Screw + LM Guide
Drive
Z-axis Moving, Flip
대 표 자 : 박근노 | 상호 : ㈜나인테크 | 주소 : 경기도 평택시 진위면 마산6로 6 대표전화 : 031-476-0305 | 팩스 : 031-476-0306 | 사업자등록번호: 227-87-00493 COPYRIGHT(C) 2018 나인테크. ALL RIGHTS RESERVED