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반도체 식각(Dry etching) 공정에서 실리콘 웨이퍼를 고정시키고,
균일한 플라즈마 밀도유지와 웨이퍼 측면(Edge)의 오염을 방지하는
역활을 수행하는 부품
적용산업
- 반도체 (Semiconductor)
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