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  • 반도체 공정용 부품

    포커스링은 반도체 식각 공정에서 웨이퍼를 고정시키고 플라즈마가 균일하게 모여지도록 하여 공정수율 향상시키는 부품으로, 플라즈마의 충격을 가장 많이 받아 빠르게 마모되어 교체주기가 매우 빠른 소모성 부품입니다.


    나인테크에서는 반도체 공정에서 요구되는 소모품 교체주기 향상을 위해 세라믹 소재 합성기술을 통한 높은 내플라즈마 특성을 가진 소재를 확보하고, 최적의 제조 공정을 통해 반도체 공정에 적합한 치수정밀도를 가진 포커스링을 개발하고 있습니다. 


    반도체 공정용 부품개발 국책과제 수행

     2021년도 중소기업기술혁신개발사업 (중소벤처기업부, 소부장 일반)

        - 과제명 : ‘반도체 식각 장비의 MTBC 향상을 위한 내식각성 부품 제조 기술 개발

        - 기간 및 지원 : 총 개발기간 2년, 사업비 4.8억원​

  • 프리미엄 가전용 열전모듈

    ESG경영, 탄소중립 등의 세계적인 이슈가 시장에 반영되어, 프리미엄 소형가전을 중심으로 냉매를 사용하지 않은 열전소자의 가치와 수요가 커지고 있으며, 가전의 소형화와 환경규제, 에너지효율 기준 개편 등의 사회적 요구를 충족하기 위해 고효율/고품질 열전모듈의 수요가 매년 증가하고 있습니다. 


    나인테크는 고효율 공정을 개발하여 소자의 성능을 높이고, 기존사업을 통해 축적된 장비제조기술을 기반으로 공정을 자동화&간소화하여 고효율 열전소재부터 모듈까지 비용을 절감하고, 성능을 향상시키는 연구개발을 진행하고 있습니다.

     

    프리미엄 가전용 고효율 열전모듈 개발 국책과제 수행

     2022년도 우수기업연구소육성사업(ATC+)

        - 과제명: “프리미엄가전용 Z 2.8 이상의 열전소자 및 적용기술 개발”​

        - 기간 및 지원 : 총개발기간 3년 9개월 사업비 16.3억원​

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