포커스링은 반도체 식각 공정에서 웨이퍼를 고정시키고 플라즈마가 균일하게 모여지도록 하여 공정수율 향상시키는 부품으로, 플라즈마의 충격을 가장 많이 받아 빠르게 마모되어 교체주기가 매우 빠른 소모성 부품입니다.
나인테크에서는 반도체 공정에서 요구되는 소모품 교체주기 향상을 위해 세라믹 소재 합성기술을 통한 높은 내플라즈마 특성을 가진 소재를 확보하고, 최적의 제조 공정을 통해 반도체 공정에 적합한 치수정밀도를 가진 포커스링을 개발하고 있습니다.
반도체 공정용 부품개발 국책과제 수행
■ 2021년도 중소기업기술혁신개발사업 (중소벤처기업부, 소부장 일반)
- 과제명 : ‘반도체 식각 장비의 MTBC 향상을 위한 내식각성 부품 제조 기술 개발
- 기간 및 지원 : 총 개발기간 2년, 사업비 4.8억원
